影响真空绝缘水平的主要因素
空隙间隔
真空的击穿电压与空隙间隔有着比较清晰的关系。试验标明，当空隙间隔较小时，击穿电压跟着空隙间隔的添加而线性添加，但跟着空隙间隔的进一步添加，击穿电压的添加减缓，即真空空隙发作击穿的电场强度跟着空隙间隔的添加而减小。当空隙到达一定的长度后，单靠添加空隙间隔进步耐压水平已经好不容易，这时选用多断口反而比单断口有利。
一般以为短空隙下的穿主要是场致发射引起的，而长空隙下的的穿则主要是微粒效应所致。
真空泄漏
大的泄漏通常会非常明显：真空腔体压力未按正常速度下降，或者极限压力明显高于正常值。然而，有些时候，由于真空泵可以轻松处理泄漏气体造成的气载，小的泄漏很难被发现，这时，即使真空计的读数仍然在正常的水平，泄漏的出现仍有可能为真空腔体带来期望之外的气体（如氧气），这些气体有时候会对工艺过程（比如某些镀膜工艺）带来非常严重的影响。所以，无论真空系统的压力是否有明显下降，都应该定期进行泄漏检测。
检测漏率问题
用户头疼的是检测漏率问题。漏分内漏和外漏；外漏比较好检测，内漏则难办些。较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，用蜡烛或打火机在点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。我们用自制的检漏仪可以在旋片泵工作范围内进行检漏，现在已经生产ZHC．1型仪表。该检漏仪表用ZJ．2电离规管，规管接在旋片泵吸气口来检测。若是扩散泵机组的话，可以检测到l0P的漏率。
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